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Inhalt
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Einleitung
Molekularstrahlepitaxie von Nitriden
Molekularstrahlepitaxie
Prinzipien
Anwendungen
Nitride
Eigenschaften
Substrate für die Nitridepitaxie
Anwendungen
Probleme der Nitride
Methoden der Materialcharakterisierung
Morphologische Charakterisierung
RHEED
Interferenzkontrastmikroskopie
Rutherford-Rückstreuung
Röntgendiffraktometrie
Rasterkraftmikroskop
Optische Charakterisierung
Photolumineszenz
Cathodolumineszenz
Elektrische Charakterisierung
Strom-Spannungs-Kennlinien
Hall-Messungen
Epitaxie von Gallium-Nitrid
GaN: Untersuchungen zu Züchtungsparametern
Abhängigkeit der Wachstumsrate von den Flußverhältnissen
GaN: Optimierung der Wachstumsparameter
Abhängigkeit der Bandlücke von den Nukleationsbedingungen
Nukleation und Morphologie
Epitaxie von Aluminium-Nitrid
AlN: Untersuchungen zu Züchtungsparametern
Untersuchung der AlN-Wachtumsmodi mit RHEED
Abhängigkeit der Wachstumsrate von den Flußverhältnissen
AlN: Optimierung der Wachstumsparameter
Struktur-Untersuchungen an Aluminium-Nitrid
Versetzungsdichten
Optische Eigenschaften von AlN
Excitonen und Störstellen in AlN
Phononenenergien von AlN
Untersuchung der Substrateinflüsse auf die Nitrid-Epitaxie
Mikroröhren an der epitaktischen Oberfläche
Veränderte Wachstumsbedingungen an Mikroröhren
Oberflächen sehr dicker Schichten
Substrateinflüsse auf das GaN-Wachstum
Laterale Homogenität von GaN-Schichten
Unterschiede zwischen der Epitaxie auf Saphir und auf SiC
Substrateinflüsse auf das AlN-Wachstum
Versetzungsdichten auf Saphir und SiC
Substratinduzierte Verspannung
Elektrische Eigenschaften der Nitride
Elektrische Eigenschaften von Gallium-Nitrid
Ohmsche Kontakte
Temperaturabhängigkeit der Ladungsträgerdichte und -beweglichkeit von GaN
Untersuchung der p-Dotierung von AlN
Zusammenfassung
Appendix
Zustandsdichten in 3D -1D
Quantentröge
Theorie finiter Quantentröge
Übergitter
Strom-Spannungs-Charakteristik einer Schottky-Barriere
Theorie des Hall-Effekts
Der Hall-Effekt für zwei Ladungsträgersorten
Beispiel eines MBE-Wachstumsprotokolls
Akronyme
Abbildungsverzeichnis
Tabellenverzeichnis
Literatur
Lars Steinke
1999-10-10